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電子行業(yè)超純水技術(shù)

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水處理技術(shù):典型工藝流程

預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間→粗混合床→精混合床→純→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密→用水對象 （≥18MΩ.CM）


傳統(tǒng)工藝流程

預(yù)處理→反滲透→中間→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密→用水對象（≥18MΩ.CM）

最新工藝流程

1、預(yù)處理→一級反滲透→加藥機(jī)（PH調(diào)節(jié)）→中間水箱→第二級反滲透（正電荷反滲膜）→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密→用水對象（≥17MΩ.CM）

2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水終端（≥15MΩ.CM）

處理后水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)

經(jīng)過高純水除鹽設(shè)備后，出水水質(zhì)可以滿足顯像管、液晶顯示器、 集成電路用水標(biāo)準(zhǔn)。 國家電子級純水標(biāo)準(zhǔn)、 美國SEMI標(biāo)準(zhǔn)。

發(fā)布：2007-07-30 09:41    編輯：泛普軟件 · xiaona    [打印此頁]    [關(guān)閉]
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