電子廠房凈化空調(diào)工程改造設計

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　摘要：本文在天津某電子廠房原有的凈化空調(diào)工程基礎上，對工藝布置和凈化空調(diào)系統(tǒng)提出改造方案，并對方案設計進行了簡單的介紹。

　　關鍵詞：凈化空調(diào)；改造設計

　　1、原有凈化空調(diào)工程情況

　　1.1 簡況

　　該廠房位于天津市開發(fā)區(qū)，建于1995年，主要生產(chǎn)半導體芯片。系統(tǒng)總面積1510m²， 其中空調(diào)面積385m²，凈化面積1125m²，凈化級別除黃光室為千級外，其余均為萬級。

　　1.2 系統(tǒng)存在的主要問題

　?。?）廠房內(nèi)只對千級間黃光室設圍護結構，

　　其余房間均為敞開式，凈化區(qū)域與非凈化區(qū)混合在一起，系統(tǒng)較為混亂，難以控制和調(diào)節(jié)，凈化區(qū)域的潔凈度不能達到要求；

　?。?）非凈化區(qū)域的擴散爐，經(jīng)測定表面溫度可達50℃，散熱量非常大，在原有設計中存在空調(diào)送風量不足問題，造成擴散爐周圍區(qū)域的溫度高達37℃，并且回風循環(huán)使用，不利于節(jié)能；

　　（3）酸洗槽的排風量不足，平均斷面風速為0.1m/s，酸性物質(zhì)存留在室內(nèi)環(huán)境中，不能有效地排出，嚴重影響室內(nèi)的衛(wèi)生和生產(chǎn)環(huán)境；

　?。?）在廠房潔凈區(qū)入口處的風淋室風速為12m/s的要求，需要更換循環(huán)風機。

　　2、改造方案

　　針對系統(tǒng)運行中出現(xiàn)的的以上情況，經(jīng)與甲方協(xié)商，提出了改造方案。

　　2.1 工藝布置改造方案

　　2.2 凈化空調(diào)系統(tǒng)改造方案

　　3、改造后的使用效果

　　系統(tǒng)改造后經(jīng)高度確保每個房間的風量、正壓達到設計要求，在動態(tài)下檢測，廠房的潔凈度、溫濕度、噪聲、照度等各項指標均達到設計要求。

　　4、結論

　　本工程改造前主要特點表現(xiàn)在系統(tǒng)工藝布置不合理（未對凈化區(qū)及非凈化區(qū)時行明確劃分）、混用凈化及非凈化區(qū)空調(diào)系統(tǒng)，不符合“規(guī)范”的要求；酸洗槽排風量不足；護散爐區(qū)因送風少及未設局排設施導致環(huán)境溫度超標；改造后將生產(chǎn)工藝布局做了適當調(diào)整，按照規(guī)范的要求，對凈化區(qū)及非凈化區(qū)單獨設置空調(diào)系統(tǒng)；加大酸洗槽排風量，同時采用了熱排風回收裝置，對補充新風進行預熱（預冷），節(jié)約能源，降低運行費用。建議在今后的空調(diào)工程設計中，對于生產(chǎn)環(huán)境有要求的工藝，既應該按照生產(chǎn)過程布置工藝，同時還要考慮到有利于空調(diào)凈化系統(tǒng)的調(diào)節(jié)和控制，保證生產(chǎn)環(huán)境的可靠性。